Nagy felbontású telecentrikus F-theta szkennelő lencse UV lézeres mikromegmunkáláshoz és félvezető alkalmazásokhoz

Telecentrikus F-Theta szkennelő lencse olvasztott szilícium-dioxiddal

A telecentrikus F-Theta pásztázó lencse egy speciális lencserendszer, amellyel az eltérített, axiálisan nem eltérített lézersugár merőlegesen fókuszálható a munkadarabra, hasonlóan az axiálisan fókuszáló sugárhoz. A telecentrikus pásztázó lencse előnye, hogy képes a mező görbületét a lehető legkisebb torzításig elsimítani, miközben kiváló pontminőséget biztosít a teljes pásztázási mezőben. Nagy teljesítményű lézerekhez és ultragyors lézerforrásokhoz TSL-Q sorozatú telecentrikus F-Theta pásztázó lencsét kínálunk a hőlencse és a fókuszeltolódás minimalizálására.

• Cikkszám: TSL-355-50-103Q
• Szemközti magasság (mm): 103,0
• Szkennelési mező (mm): 50×50
• Bemeneti nyaláb Φ (1/e²) (mm): 9.0
• Menet: M85x1
• Kerékátmérő (mm): 137,4
• Ablak átmérője × vastagsága (mm): 80 × 2